可變光衰減器（Variable Optical Attenuator，VOA）是光纖通信中一種重要的光無源器件，通過衰減傳輸光功率來實現(xiàn)對信號的實時控制，可與光波分復(fù)用器（WDM）、分光探測器（TAP PD）、摻鉺光纖放大器（EDFA）等光器件構(gòu)成ROADM、VMUX、增益平坦EDFA等模塊，還可直接用于光接收機(jī)的過載保護(hù)。另外，光功率計等儀器儀表的計量、定標(biāo)，也需要使用到VOA。 b!+hH Hv:  
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      反射式MEMS VOA是基于MEMS芯片封裝的微型光器件，設(shè)計思想來自于傳統(tǒng)機(jī)械型VOA，不同的是驅(qū)動裝置由龐大的步進(jìn)電機(jī)變?yōu)殪o電開合橋，靜電梳，翹動結(jié)構(gòu)，壓電驅(qū)動等，其工作原理如圖1所示。
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　　圖1 反射式MEMS VOA原理圖 N"Z{5A  
　　基于MEMS技術(shù)的反射式VOA的結(jié)構(gòu)主要分為兩部分。一部分是由雙芯插針和C透鏡等構(gòu)成的準(zhǔn)直器組成，作為光的輸入和反射輸出通道。可對插針斜面角度、C透鏡曲率半徑和材料等參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，制作出不同指標(biāo)要求的MEMS VOA。另一部分是MEMS密封件，通過貼片、金絲鍵合、真空封帽等精密工藝將MEMS芯片封裝在穩(wěn)定可靠的密封環(huán)境內(nèi)。外界施加幾伏或十幾伏的電壓到器件的正負(fù)引腳后，由于MEMS芯片的特定構(gòu)造，在硅基鍍金面與鍍金反射鏡面之間產(chǎn)生靜電力，驅(qū)動MEMS芯片反射面發(fā)生微量角度的轉(zhuǎn)動，從而帶來入射到MEMS芯片鏡面的反射光同步偏移，導(dǎo)致返回光的模場與耦合的單模光纖模場形成失配，產(chǎn)生了衰減。隨著施加電壓的變化，衰減也相應(yīng)地變化，連續(xù)可調(diào)。當(dāng)正負(fù)極間施加反偏電壓時，器件仍能正常地工作。 T;