GaN折射率的橢圓偏振光譜研究.PDF，需要的下載，別忘了支持一下。 - [V-f> :
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摘要: 利用 400~ 1200nm 波段的橢圓偏振光譜對生長在藍寶石襯底上的非故意摻雜纖鋅礦氮化鎵( GaN) 外延薄膜進行了研究. 通過擬合實驗數(shù)據(jù)獲得了 GaN 薄膜的厚度和在可見-近紅外區(qū)域的折射率色散關(guān)系, 即 n2( K) = 2. 262+ 330. 12/ ((K/ nm)2- 265. 72) . 利用這一公式研究了GaN 紫外-可見波段的反射光譜, 計算得到的 GaN 薄膜厚度, 與橢偏光譜結(jié)果一致, 兩者偏差僅為 0. 68%.
