工藝條件再說詳細(xì)一點，第一層是什么膜料，蒸鍍過程是否離子源一直輔助，脫膜現(xiàn)象是否有傘架位置之分等等

大家一起研究一下

基片加硬的問題，剛剛遇到過的，亞克力的鍍完膜層不牢，后來，退客戶端他們加硬后就OK了。至于怎么加硬就不太清楚了。

PMMA本身鍍增透就有點自相矛盾的，基板與膜料結(jié)合不好，要增加結(jié)合效果就要表面增加粗糙度，增加粗糙度就會對產(chǎn)品透過有影響。之前有想買臺灣的一種設(shè)備來增加表面粗糙度，后面也是不了了之。PMMA在鍍膜這塊確實不好解決，膜裂可以搞，但是脫膜不好搞，脫膜搞好，增透就不好搞，而且鍍膜后產(chǎn)品儲存要求較為苛刻。要想解決脫膜就表面霧化，霧化程度自行實驗吧——霧化程度不影響預(yù)期增透效果。希望樓主解決后分享一下

基片加硬才行，剛試過了，總是脫膜，加硬后沒有問題

SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 43-%")bH  
冷鍍不加溫，抽一個半小時 N)h>Ie  
基片超聲波清洗，洗后75°退火2小時 /)de`k"  
鍍完再退火2小時

dumoty:SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 km