怎么解決呢？

工藝很重要

才看到樓主的帖子，（雖然樓主這個(gè)帖子時(shí)間很久了） v?7.)2XcX  
樓主，我最近接觸這個(gè)材料的鍍膜，也是PMMA（700nm增透），鍍膜的話容易膜裂（主要是高溫會(huì)導(dǎo)致膜裂>80C°） hfGA7P"  
是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來(lái)試試

小小�！�光電:才看到樓主的帖子，（雖然樓主這個(gè)帖子時(shí)間很久了） @R?S-*o  
樓主，我最近接觸這個(gè)材料的鍍膜，也是PMMA（700nm增透），鍍膜的話容易膜裂（主要是高溫會(huì)導(dǎo)致膜裂>80C°） Gu&?Gn oc  
是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來(lái)試試 (2018-10-11 15:58)  '?_;s9)  

U]fE(mpI9  
第一層加50-100A  SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問(wèn)題

在你現(xiàn)有的工藝基礎(chǔ)上，打底一層薄的SIO

提高一下，加工工藝條件。

問(wèn)題已解決，方案在25樓

樓主做事有始有終，必須贊一個(gè)。

正在做冷度ar，離子源輔助（O2），鍍sio2的時(shí)候不開(kāi)離子源比開(kāi)離子源膜強(qiáng)度要高，但依舊達(dá)不到要求，膜層易脫落，用指甲就螚把膜層刮下來(lái)，暫未解決

knight627:第一層加50-100A  SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問(wèn)題 (2018-10-12 14:34)  BoE;,s>]NW  

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SIO 這個(gè)試過(guò)幾次  鍍10nm，效果沒(méi)有改善。  可能是SIO 這個(gè)料不太好用， 光斑用的60 60，電流100mA   沒(méi)有融料痕跡。   這個(gè)料需求預(yù)融嗎？具體怎么使用  ？多謝賜教！