工作壓強范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強范圍 #ZA YP  
幾種常用真空泵的工作壓強范圍： CggEAi~  
旋片機械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa yhaYlYv[_3  
  幾種常用真空泵的工作原理  s25012  
l        旋片機械泵 /Ny&;Y  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 q]x@q  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 zu#o<6E{  
主要參量是： 抽速和極限壓強。 *rLs!/[Z_  
由于極限壓強較高， 常用做前級泵(預抽泵)。 pC6_ jIZ  
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旋片式機械泵 e