工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍 
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幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍： 4bT21J37  
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa I 0/enL  
  幾種常用真空泵的工作原理 c]qq *k#  
l        旋片機(jī)械泵 \xQ10\u  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 k"J[mT$b  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 QasUgZ  
主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。 YW|KkHi*  
由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級泵(預(yù)抽泵)。 hXvg<Rf  
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