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　　研討會(huì)主題：使用創(chuàng)新等離子加工技術(shù)蝕刻圖形藍(lán)寶石襯底(PSS) oKn$g[,SJh  
　　舉辦時(shí)間：2015年6月4日 下午15:00-16:00 +p\E%<uQ
 
　　舉行公司：牛津儀器 mV^w|x  
　　登記鏈接：http://t.cn/RABTvu9 j e\!0{  
　　研討會(huì)簡(jiǎn)介： 6{+yAsI  
　　LED行業(yè)對(duì)提高經(jīng)營(yíng)成本的積極性推動(dòng)了牛津儀器的離子技術(shù)創(chuàng)新。經(jīng)過(guò)優(yōu)化的離子體工序?yàn)樘岣?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=器件',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_8">器件產(chǎn)量和降低制造成本提供許多途徑，達(dá)到一石二鳥的效果。LED制造商需要關(guān)鍵的離子體蝕刻步驟(圖案化藍(lán)寶石襯底(PSS)和GaN刻蝕)和沉積步驟進(jìn)行鈍化，電流阻擋以及掩模制作。這些都是通過(guò)各種技術(shù)，例如等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積(PECVD)來(lái)進(jìn)行。本次研討會(huì)闡述了通過(guò)提高加工率以及同時(shí)增加處理晶片的數(shù)量的方法，以提高這些工序的生產(chǎn)效率。 (:b
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　　研討會(huì)議程： v^&HZk=(  
　　1. 5分鐘介紹 - OFweek主持人; Mk*4J]PP  
　　2. 演講1： 20分鐘 – Dr Mark Dineen《使用創(chuàng)新量子加工技術(shù)蝕刻圖形藍(lán)寶石襯底(PSS)》(英文版本); e