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　　公司介紹 }%|OnEk"  
　　牛津儀器為客戶提供靈活，可配置的加工工具，以及針對(duì)精確，可控和可重復(fù)蝕刻，沉積，微米-納米結(jié)構(gòu)生長的前沿工藝。 ,;}RIcvQV  
　　牛津儀器的刻蝕、沉積和生長系統(tǒng)可以為材料的微米、納米級(jí)工程提供工藝方法，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、MEMS和微流體、高質(zhì)量光學(xué)涂層及其他多種微納技術(shù)領(lǐng)域。 umYdr'p!v  
　　這些解決方案是基于如下核心技術(shù)： wVB8PO8  
　　- 等離子體刻蝕和沉積 R/7l2