greensoya:[圖片]
Fd<Ouyxqe 謝謝fly6947的詳細(xì)指導(dǎo)!
{X(nn.GpC 剛發(fā)現(xiàn)前面那幅圖仿真時(shí)的二氧化硅厚度填錯了,實(shí)際的物理厚度是10000nm,錯誤的填到了光學(xué)厚度里面。修改之后的仿真結(jié)果如圖所示,緊貼si表面的10um二氧化硅使透光曲線上出現(xiàn)了很多紋波(黑色曲線),而如果把這10um二氧化硅去掉, ..
(2015-07-30 15:48)
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_h}(jEd! 原來如此;
T&pCLvkz 由于環(huán)氧樹脂和Sio2都比較厚,可以不考慮其干涉效應(yīng),模擬時(shí)先計(jì)算出100%透過率的光通過環(huán)氧樹脂的透過率為多少,如T1;;
}O@>:?U 膜層設(shè)置 Substrate為Sio2 膜層從下到上分別為 Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4
Ah7"qv'L\ medium 設(shè)置為Air
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y 不過此時(shí)軟件模擬出來的透過率T2需要乘以T1才是實(shí)際透過率