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    [求助]膜系設(shè)計(jì)問題求助 [復(fù)制鏈接]

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    離線fly6947
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2015-07-31
    回 greensoya 的帖子
    greensoya:[圖片] Fd<Ouyxqe  
    謝謝fly6947的詳細(xì)指導(dǎo)! {X(nn.GpC  
    剛發(fā)現(xiàn)前面那幅圖仿真時(shí)的二氧化硅厚度填錯了,實(shí)際的物理厚度是10000nm,錯誤的填到了光學(xué)厚度里面。修改之后的仿真結(jié)果如圖所示,緊貼si表面的10um二氧化硅使透光曲線上出現(xiàn)了很多紋波(黑色曲線),而如果把這10um二氧化硅去掉, .. (2015-07-30 15:48)  MT>(d*0s  
    _h}(j Ed!  
    原來如此; T&pCLvkz  
    由于環(huán)氧樹脂和Sio2都比較厚,可以不考慮其干涉效應(yīng),模擬時(shí)先計(jì)算出100%透過率的光通過環(huán)氧樹脂的透過率為多少,如T1;; }O@>:?U  
    膜層設(shè)置  Substrate為Sio2    膜層從下到上分別為 Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4   Ah7"qv'L\  
    medium 設(shè)置為Air  eu$VKLY*  
    ~$T>,^K y  
    不過此時(shí)軟件模擬出來的透過率T2需要乘以T1才是實(shí)際透過率