應用VirtualLab Fusion優(yōu)化高數(shù)值孔徑衍射光學元件 p }p@])}8
P@LFX[HtM 大角度光圖形可用于: D9hV`fA ■信息顯示 T/m4jf2 ■ 測量標記 FR bmeq3c ■激光表演 r)4GH%+?fv ■ 運動控制設備 ;7;=)/- ■ 線性投影設備 \B72 #NR G)(vd0X1 運用衍射光學元件(DOEs)可以生成任意的大角度二維光圖案,也稱為計算機制全息圖、相位板以及開諾全息照片(見1)。將高數(shù)值孔徑圖案投影到一個平面上去會出現(xiàn)枕形失真以及隨角度的增大輻照度下降,在設計過程中必須對此予以補償 ~2HlAU))<&
\3WF-!xe 圖1.通過大角度衍射分束元件產(chǎn)生的斑點圖案。全視場70°。衍射光學元件的特征尺寸小到450nm。
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VirtualLab 為用戶提供了功能強大且用戶界面友好的工具用于大角度衍射光學元件的設計,其功能涵蓋了從系統(tǒng)設計到加工數(shù)據(jù)的輸出的整個設計過程: xOKLc!J
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■ 功能強大的設計算法:迭代傅里葉變換算法和參數(shù)優(yōu)化; nBN+.RB:( ■ 失真和輻照度損失的預補償(見圖2); Lo<-;;vQ ■ 以多種格式導出加工數(shù)據(jù),如STL和GDSII。 eNQQ`ll@m ~!t#