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中科院光電所獲取大角度衍射光學(xué)元件批量化制備新方法

發(fā)布:cyqdesign 2016-04-26 20:43 閱讀:9181
中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室微光學(xué)組在大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法研究中取得新進(jìn)展:提出了一種基于納米壓印技術(shù)的大角度衍射光學(xué)元件批量化低成本制備新方法。由于納米壓印模板可以多次重復(fù)使用,平均成本降低,能夠?qū)崿F(xiàn)從微米到納米跨尺度兼容的衍射光學(xué)元件的低成本、批量化制備。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Acta Photonica Sinica。 K