最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 /stED{j,  
`#(4K4]1.  
若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成 5(F!*6i>  
r*3;gyG.,#  
不知道是為什麼，且放一段時(shí)間會(huì)消失(約3~7天)，有人有預(yù)過這種情況嗎?? P_?1Rwm-45  
Z@h]dU5%a  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 4s"HO/  
59ivL6=3  
P.S. ooD/QZUE  
SEuj=Vie#  
AR與MGF2皆為EB製程 <bid 6Q0|  
epwXv|aSZ  
膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M =uvv|@Z  
r!zNcN(%cs  
起鍍真空為5E-4pa

從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下

氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當(dāng)最外層氟化鎂少時(shí)，用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58)  w}E?FEe.  

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我用的材料為石英 `C=p7%  
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您說的沒錯(cuò) $iB(N ZV  
BpKP]V  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 Q/+a{m0f  
!YoKKG~_0  
已經(jīng)確認(rèn)放氣時(shí)間拉長無法改善此問題

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58)  >SzTZ3!E  

VP"L_Um  
我用的材料為石英 x_Z~k  

EUNG&U  
您說的沒錯(cuò) d E
Xw=u  
~!uK;hI  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 >!wwXhH(  
1k7E[G~G|  
已經(jīng)確認(rèn)放氣時(shí)間拉長無法改善此問題

好東西

什么呀

ipnuk 泥漿中

是個(gè)好方法

好東西，學(xué)習(xí)了