橢偏儀原理以及應(yīng)用
<9sO 摘要： 橢偏測(cè)量技術(shù)通過(guò)測(cè)量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得
材料的
光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。本文主要介紹了橢偏儀的背景概述、光學(xué)原理。并對(duì)行業(yè)最前沿最高端的的雙旋轉(zhuǎn)穆勒矩陣橢偏儀進(jìn)行功能概述，希望對(duì)廣大的技術(shù)從業(yè)人員會(huì)有幫助。
Ys! >+nL| 關(guān)鍵詞：橢偏儀、橢偏儀原理、穆勒矩陣橢偏儀
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