VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 %4|}&,%%r  
很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有： 0aTbzOn&  
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 干涉儀 }0*ra37z>  
 光譜儀&單色儀 jnp6qpY{  
 表面計(jì)量系統(tǒng) >?W;>EU
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VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 z!C4>,  
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圖片:1-160Q31G515U8.png

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VirtualLab Fusion軟件的特性： a-A+.7  
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 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 |z|)r"*\4  
 包含部分相干和衍射效應(yīng) v#%>uLl  
 尤其對傾斜和偏移的公差分析 PtQ#  
 真彩色獲取 @EP{VV  
 便于使用的位置概念 QjjJtKz  
 干涉條紋的計(jì)算 wJos'aTmE  
 測繪掃描系統(tǒng)的仿真 '"]>`=R  
 全譜段高分辨率分析 PP[)h,ZL*  
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