中科院光電所在大口徑反射光學(xué)元件高反射率均勻性測試研究中取得突破
光學(xué)鍍膜完成的大口徑反射光學(xué)元件光譜(反射率)非均勻性是非常重要的技術(shù)參數(shù),必須滿足一定的技術(shù)要求才能用于系統(tǒng)中,因此必須具備相應(yīng)的測試手段對大口徑反射元件的反射率(非)均勻性進行準確測量,從而保證用于系統(tǒng)中反射光學(xué)元件的質(zhì)量,滿足系統(tǒng)正常運行。 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所薄膜光學(xué)測試研究團隊建立了基于頻率選擇性光反饋光腔衰蕩技術(shù)的高速、高精度、高空間分辨率大口徑反射光學(xué)元件反射率及其均勻性測試原型樣機,目前已用于國家工程任務(wù)中大口徑反射元件的測試評估和質(zhì)量控制,為大口徑反射光學(xué)元件制備的工藝優(yōu)化提供了測試技術(shù)平臺。 該測試技術(shù)取得的主要技術(shù)突破是實現(xiàn)了大口徑反射元件反射率分布的二維高分辨成像測量,最大測量口徑達到300×450mm,當R>99.99%時,反射率重復(fù)性精度優(yōu)于±0.002%,反射率絕對測量精度優(yōu)于±0.005%?商峁┓瓷渎蕼y量的時間指數(shù)衰減擬合曲線和鏡面反射率掃描的三維測試結(jié)果。 ![]() |