國家重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目“超光滑表面無損檢測儀”研制工作，10月9日在成都啟動。未來其將廣泛用于微電子集成電路、太陽能電池基片，及大型高功率固體激光系統(tǒng)、空間光學(xué)系統(tǒng)等設(shè)備檢驗檢測。 pzkl