中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所薄膜光學(xué)技術(shù)研究室課題組在研究準(zhǔn)分子光刻系統(tǒng)中激光脈沖寬度展寬技術(shù)方面取得新進(jìn)展：提出了一種基于雙分光鏡和多塊反射鏡組成的脈寬展寬結(jié)構(gòu)，相關(guān)研究成果已申請專利發(fā)明“一種基于雙分束元件的準(zhǔn)分子激光脈沖展寬裝置”。 5xEk