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超精度芯片級(jí)傳感器可用于納米尺度環(huán)境變化的檢測(cè)

發(fā)布：cyqdesign 2017-01-23 18:05 閱讀：1463

芯片級(jí)的高精度的物理量測(cè)量，如溫度、壓力和折射率等，已成為納米光子學(xué)和納米等離子體共振腔常見(jiàn)的測(cè)量方式。