衡量微透鏡光學(xué)質(zhì)量的性能參數(shù)有很多，對(duì)于折射微透鏡有焦距、表面粗糙度、陣列均勻性等物理參數(shù)和點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)等光學(xué)性能參數(shù)，而對(duì)于衍射微透鏡有衍射效率這一重要參數(shù)。目前，針對(duì)微透鏡參數(shù)的測(cè)量方法有多種，如干涉法、CCD直接成像法、哈特曼波前傳感器測(cè)量法、刀口振動(dòng)法、莫爾法、泰伯效應(yīng)法等等，各種方法所利用的光學(xué)原理各不相同，也各有優(yōu)缺點(diǎn)。 ^n<p#0)+a  
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微透鏡陣列的填充因子ρ是指單元元件的有效通光面積S_0與單元總面積S_total的比值，它決定了元件對(duì)光能的匯聚和發(fā)散能力。填充因子與元件的形狀和排列方式有關(guān)，如采用圓孔徑，傳統(tǒng)的正交排列微透鏡陣列的填充因子最大為78．5%，六邊形排列微透鏡陣列的填充因子最大為90%。而采用方形孔徑和六邊形孔徑填充方式，理論上填充因子可達(dá)到100%，但由于透鏡孔徑邊緣處面形誤差的存在使得其有效折光能力下降，填充因子會(huì)降低。面形輪廓的控制范圍越大，則加工誤差越小，填充因子就越高。 y-"*[5{W  
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表面粗糙度表征了微單元表面上的平整度。由于微光學(xué)元件在加工過程中包括多個(gè)工藝步驟，而且光刻膠、基片及去離子水的潔凈度的高低，或在光刻過程中都會(huì)影響元件表面的粗糙度。 9r7QE&.  
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使用原子力顯微鏡測(cè)出了一組微透鏡孔徑的直徑(D)和厚度(h)，見下表。陣列樣品中隨機(jī)選取的10透鏡的直徑、厚度、焦距等參數(shù)。微透鏡焦距均勻性誤差定義為： ~]A';xH&  
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σ_f=(f_max-f_min)/f ̅ ×100% ;'pEzz?k"  
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式中，f_max為微透鏡列陣子單元焦距最大值，f_min為最小值，f ̅為焦距平均值。 P7E}^y`e  
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通過抽樣測(cè)量單元透鏡的浮雕深度，利用(2.7)式計(jì)算出對(duì)應(yīng)單元的焦距，由測(cè)試結(jié)果得出焦距的平均值為62.56um，均方根差為2.96um，焦距的均勻性誤差為0.4%。分析制作的微透鏡陣列的陣列均勻性小于1%。因此可認(rèn)為此微透鏡陣列均勻性很高。 i<1w*yu  
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