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樓主
發(fā)表于: 2017-03-22
摘要:我們使用近似的物理
光學
模
模擬
了半徑的測量。使用簡單的幾何
光線
模型替換復雜的物理光學模型,可以確定在測量中的偏差。
#U@| J}a
}\Z5{OA
1. 簡介
qjLo&2)
sFElD ]|
半徑干涉測量通常通過簡單的幾何模型來模擬,即,來自物鏡(或標準
透鏡
)的光線形成錐形并且聚焦到一點[1]。當測試光學器件變小和/或需要更高的精度時,這個簡單的幾何模型就會產生問題并得到錯誤的半徑測量值。需要完整的物理光學模型來捕獲
系統(tǒng)
的衍射效應和像差。