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HSL.002(4.0) E xY
~. 摘要：這個案例分析了由衍射擴(kuò)散器元件實(shí)現(xiàn)的單色準(zhǔn)分子激光光束的均勻化，最終生成一個圓形高帽。 Z</$~
T Fk Kx~I: 1.建模任務(wù) u_zp?Nc 0o( / %31] vIz~B2%x 2.光源參數(shù) a"#5Jc R3 tw\/1wa.
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+}X@{DB
ML Id3#Q
• LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源） spd>.Cm`
• 光源平面直徑：100μm×100μm YadyRUE
• 空間相干長度：3μm×3μm m|=/ |Hm
• 相應(yīng)的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89° #} e)*(
• 波長：351nm ` ')3}
Be0P[v 3. 衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù) viY _Y.Yjy *jf
(TIU
.* V ZY
一個衍射勻光元件,可以使用一個具有如下技術(shù)參數(shù)的衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù)來模擬： 6S<J'9sE
• Phase-Only元件 F4Z+)'oDr,
• 采樣距離：5μm CbI[K|
• 大�。�640μm×640μm dM#\h*:=
• 相位級：8 ?w /tq!
• 生成的目標(biāo)模式：圓形高帽 =#n|t[h-
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