案例563（1.0） &N EzKf  
1.建模任務(wù) 7j+.H/2  
(w*$~p  
 這個案例將演示設(shè)計與分析一個折射率調(diào)制的擴散器圖層以生成Top Hat圖案。 I ;_.tG  
 設(shè)計包括兩個步驟： 1na[=Q2  
- 設(shè)計相位函數(shù)來生成一個角譜Top Hat分布。 deNU[  
- 基于相位調(diào)制來計算對應(yīng)的折射率調(diào)制。 0*q:p`OLw*  
 如果想要更詳細的解釋設(shè)計和分析步驟，請參見教程Tut565。 UxW~

yk  
xK/`XY  
]@xc9tlG  
照明光束參數(shù) x\*5A,w{c]  
^JTfRZ:a  
-&c@c@dC  
 波長：632.8nm z"<PveVo  
 激光光束直徑（1/e2）：700um }V 1sY^C  
.D :v0Zm}m  
理想輸出場參數(shù) PSRGlxdO  
ZrTq)BZ  
"783F:mPh  
}5~;jN=k  
 直徑：1° Z1Ms~tch  
 分辨率：≤0.03° E_
++yK^=  
 效率：>70% ]SQ_*$`  
 雜散光：<20% T/H*Bo*=5  
9DIG