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ouyuu:穩(wěn)定性上很難說。 CIU1R; 新柯隆在低端機(jī)上用過一陣子ULVAC的晶控儀, m%;D 后來因?yàn)檐浖䥺栴},包括售出的機(jī)器全換成了INFICON的。 Q\ /uKQ 然后ULVAC的老板信誓旦旦說軟件修好了,沒問題了, )a@k]#)Skm 然后又買了400多臺(tái),然后又是各種問題。 mE`kjmX{