lovsilence:回復(fù)一下看看資料，一直搞不清為什么RF離子源國內(nèi)做不了
(2019-02-01 14:22) 
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))p$vU3 首先是柵網(wǎng)
2+,5p 1，柵網(wǎng)材料現(xiàn)在選用的是進(jìn)口材料，晶格的均勻性和內(nèi)應(yīng)力控制上，國內(nèi)材料還達(dá)不到國外的水準(zhǔn)。柵網(wǎng)使用時(shí)溫度可以達(dá)到1000多度，國產(chǎn)材料在這種溫度下很難控制變形量。而柵網(wǎng)的孔只要不是在一條直線上，離子輸出能量和輸出均勻性就會(huì)受很大影響。
W _J&M4 2，即使用了進(jìn)口材料，國內(nèi)的機(jī)床加工精度還達(dá)不到日本的水平。
-}E)M}W 3，只要三片柵網(wǎng)的孔沒有對準(zhǔn)，實(shí)際離子輸出就會(huì)受影響。原廠柵網(wǎng)在出廠前會(huì)進(jìn)行檢測，然后根據(jù)結(jié)果對三片柵網(wǎng)進(jìn)行匹配，所以一般原廠柵網(wǎng)輸出效率能達(dá)到90%左右。國產(chǎn)的我樂觀估計(jì)60%就不錯(cuò)了。
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43`^;u 其次是匹配和軟件
@81-kdTx 根據(jù)氣體不同，RF射頻的相位匹配很重要，這個(gè)需要根據(jù)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行微調(diào)。
(1rJFl! 還有軟件上需要人員進(jìn)行開發(fā)。如果不是自己生產(chǎn)的鍍膜機(jī)，和鍍膜機(jī)的聯(lián)動(dòng)也是個(gè)問題。
G l_\Vy 所以一般是鍍膜機(jī)廠家自己開發(fā)，獨(dú)立開發(fā)的話，后期服務(wù)需要大量人手，其實(shí)利潤不高的。
