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    [討論]關(guān)於 EB 製程(不使用IAD) [復(fù)制鏈接]

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    離線rexchou
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-11-20
    各位前輩 先進 大家好 ]2@(^x'=  
    關(guān)於EB製程(不使用IAD)部分 7p.8{zQ*  
    在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產(chǎn)生 .jQx2 O  
    可以控制的參數(shù)很少 F|F0#HC ?  
    頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2017-11-20
    麻點有很多因素。 ~RbVcB#  
    改善抽氣和放氣（延長緩粗抽和緩放棄的時間），可以減少氣流帶到鏡片的粉塵數(shù)量。 aE