| zxp791 |
2007-01-11 08:42 |
問題：用晶振片測膜厚
最近在鍍膜機(jī)上新裝了一臺晶振測膜儀，Inficon 074-186S XTM2 OM。總共用了2次，出現(xiàn)同樣的問題，在開始鍍膜的1分鐘內(nèi)，運(yùn)作正常，顯示屏顯示鍍膜的速率和膜厚，但不超過1分鐘，顯示屏上就會出現(xiàn)晶振片錯誤的信息（crystall fail），同時真空室中晶振片的蓋子通過氣動自動蓋上。如果我再從新啟動一下膜厚儀，又可以工作，大概也還是1分鐘左右的時間，又會出現(xiàn)象上面同樣的錯誤，真的不知道問題出在哪里？？？ CZ{7? :^f
還有1個就是Z系數(shù)的值，因?yàn)槲义兊氖荂r膜，跟著膜厚儀過來的使用說明書里附的表格說對于鍍Cr設(shè)定的Z-Ratio值是0，305。 但我上次從一個論壇里看到一位大俠說一般鍍單層膜在膜厚不超過1000nm時，Z-Ratio設(shè)置為1。我也不知道哪個對。 6y^GMls I
寫的比較羅嗦，呵呵。 mwZ) PySm)
急盼解答，先謝過�。�！
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