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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 浸沒(méi)式光刻投影物鏡光學(xué)薄膜 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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gangzi0801

2018-10-16 12:46

浸沒(méi)式光刻投影物鏡光學(xué)薄膜

摘要：深紫外光刻是目前集成電路制造的主流方法，為實(shí)現(xiàn)更小的元件特征尺寸，必須采用浸沒(méi)式投影物鏡以提高光學(xué)系統(tǒng)的分辨率，由此向其中的薄膜光學(xué)元件提出了眾多苛刻的要求。本文的討論由此展開(kāi)：介紹了適用于浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)的薄膜材料及膜系設(shè)計(jì)，以及高NA光學(xué)系統(tǒng)所需的大角度保偏膜系；物鏡中最關(guān)鍵的元件為浸液元件，對(duì)浸液薄膜的液體環(huán)境適應(yīng)性及疏水、防污染等關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行了討論；激光輻照壽命是衡量浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)性能的重要因素，對(duì)鍍膜元件的激光輻照性能，尤其是浸液環(huán)境下的元件輻照壽命進(jìn)行了分析。
關(guān)鍵詞：浸沒(méi)式光刻, 光學(xué)薄膜, 膜系設(shè)計(jì), 環(huán)境適應(yīng)性, 激光輻照壽命

wzlfpz	2018-11-05 14:44
一直都想學(xué)習(xí)這個(gè)領(lǐng)域的知識(shí)

淡小疼	2018-11-05 17:49
挺好的

ouyuu	2018-11-06 14:09
浸液這個(gè)是臺(tái)灣人提出來(lái)的概念，其實(shí)在研發(fā)上， m^G(qoZ] 創(chuàng)意無(wú)限的中國(guó)人比循規(guī)蹈矩的日本人要更有辦法。

hunter999	2019-03-30 10:39
好東東！ 1XMR7liE

玄真子	2019-03-31 14:06
xuexile

大劍宿意琦行	2020-12-19 22:11
學(xué)習(xí)下

大劍宿意琦行	2020-12-19 22:11
謝謝分享

jspc	2021-01-03 23:33
浸沒(méi)式投影系統(tǒng)原理簡(jiǎn)單，但是實(shí)際量產(chǎn)過(guò)程中肯定困難重重。

chenfadi	2021-11-08 18:38
7666666666666666666

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