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2018-11-05 14:45 |
中國科大在非平整襯底表面三維微納米加工技術(shù)研究中獲進(jìn)展
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)合肥微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心教授王曉平和羅毅研究團(tuán)隊發(fā)展了光刻膠軟掩膜蠟紙印刷技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)了多種形貌三維超結(jié)構(gòu)的可控制備，同時實(shí)現(xiàn)了非平整和曲面襯底上微納米結(jié)構(gòu)的自由構(gòu)建。相關(guān)研究成果近日以Utilization of Resist Stencil Lithography for Multidimensional Fabrication on a Curved Surface 為題，發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊ACS Nano上�！ � ovo
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