| cyqdesign |
2019-07-03 14:57 |
性能提升70%！ASML研發(fā)第二代EUV光刻機(jī)
半導(dǎo)體制造過程中最復(fù)雜也是最難的步驟就是光刻，成本能占到整個生產(chǎn)過程的1/3，光刻機(jī)也因此成為最重要的半導(dǎo)體制造裝備，沒有之一。目前最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML公司生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)，每臺售價超過1億美元，而且供不應(yīng)求。 d~F`q7F'?]
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