探針臺 |
2019-07-18 14:04 |
掃描電子顯微鏡SEM講解
{*yvvb 掃描電子顯微鏡SEM,是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器,被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。[attachment=94544]掃描電子顯微鏡 L/8oqO| 掃描電子顯微鏡的外觀圖 特點(diǎn) 制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等,對于導(dǎo)電材料,可直接放入樣品室進(jìn)行分析,對于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。 基本結(jié)構(gòu) 從結(jié)構(gòu)上看,如圖所示,掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成,即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。[attachment=94545]掃描電子顯微鏡成像 /
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