| 探針臺 |
2019-07-31 16:19 |
切點分析線路修改FIB
主要用途 [ !OxZ!
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芯片的電路修補、斷面切割、透射電鏡樣品制備。 Y:a]00&)#Y
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性能參數(shù) C;urBsC
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a)著陸電壓范圍 - 電子束：350V~30kV a:6m7U)P#5
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- 離子束：500V~30kV +K4}Dmg
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b)最小分辨率 - 電子束：0.8nm/30kV @;RXLq/8
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- 離子束：2.5nm/30kV [ibu/ W$
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