| 探針臺 |
2019-07-31 16:20 |
形貌觀察SEM掃描電鏡
主要用途 "t4~xs`~X
#sNa}292"
觀察樣品表面微觀形貌，進行尺寸及深度進行測量，能譜元素分析。 0)9GkHVu(
k)y0V:ZY]O
性能參數(shù) yUEU IPL
mn
8 A%6W
a)二次電子分辨率：1.0nm（加速電壓15kV，WD=4mm） (:E^} &A
1z[WJ}$u
b)放大倍數(shù) 100~800000（照片倍率）； "k f7??Z
^HC!
my
400~2000000（實際顯示倍率） . KRh59yg
4 S03W
應(yīng)用范圍 \ m 2[
B.{0,b W?
1.提供表面及橫截面微細結(jié)構(gòu)觀察及分析； "FG6R'
a>" "MC2
2.對多層結(jié)構(gòu)樣品提供精準的膜厚量測及標(biāo)示； PjRKYa_U
y .
AN0
3.借由低能量的電子束掃描做被動式影像對比(PVC)對于不良漏電或接觸不良的組件損壞可以精準的定位，提供異常分析之判斷； uOm fpg
| |