| 探針臺(tái) |
2019-08-05 09:21 |
微光顯微鏡EMMI原理
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微光顯微鏡EMMI原理對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析 工具，主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P，而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 BKN]DxJ6
偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況 rt"\\sOlMB
會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4閂鎖效應(yīng)； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理?yè)p傷等。 nwz}&nR
偵測(cè)不到亮點(diǎn)之情況 \"n&|_SZ\
不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障：1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面反型層；5.硅導(dǎo)電通路等。 Z#9{1sHEP
點(diǎn)被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，這種情況可采用Backside模式，但是只能探測(cè)近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及拋光處理。
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