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探針臺(tái) 2019-08-07 10:45

雙束聚焦離子束(Dual Beam FIB)

q=HHNjj8  
Dual Beam FIB(雙束聚焦離子束) SD\= m/W  
雙束聚焦離子束是一種多用途的分析技術(shù)，可以用于樣品定位切割并將隱藏在各種基底材料中的缺陷揭露出來。最常見的用途之一就是制備TEM樣品。雙束FIB可以通過切斷/連接芯片線路來進(jìn)行芯片線路修改。
優(yōu)勢(shì)局限
`i~ Y Fr  
- 橫截面缺陷 Rn%N&1 Ef  
- TEM快速樣品制備 ]-o"}"3Ef  
- 線路修改 }S-DB#6  
- 借助EDX配件進(jìn)行元素定量分析    		 I&9S;I$  
- 晶片尺寸需要小于150mm ;#G