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探針臺 2019-08-07 10:46

EMMI(微光顯微鏡)

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EMMI(微光顯微鏡) sq*R)cZ  
微光顯微鏡通過測量樣品加偏壓時所釋放出來的光子來定位故障點。該儀器可以非常靈敏的測出微量光子,并且通過和背景圖片重疊的方法來確定被測樣品漏電的具體位置。微光顯微鏡已經成為失效分析定位里最為常見的分析手段。
優(yōu)勢局限
Y[$[0  
- 使用相對簡單 ?)Z~H,Q(z  
- 可以檢測pn結的漏電 !OPK?7   
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- 光子可能會被金屬層擋住而無法顯示 :~:(49l  
- 無法測量金屬層短路 8l>/ZZ.NXi  
- 微光漏電光斑較大
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