| 探針臺 |
2019-08-08 16:43 |
fib離子源發(fā)展
美國Apme國家實驗室的1.E.Kmhn于1974年,在研究帶電微滴的過程中發(fā)現(xiàn),當給充滿液態(tài)Ga的毛細管墻口加上一定的電場后,管口處的Ga在電場作用下會發(fā)形變,形成一個錐體,并從錐體的頂墻發(fā)射出Ga離子束。次年nh便發(fā)表了他的第一個正式的毛細管型Ca·液態(tài)金屬離子源,并聲稱液態(tài)金屬離子源將在微區(qū)分析領域大有作為。 {wd.aUB
于此同時,英國 Eltham實驗室的BC=m也發(fā)表了第一個針尖型的液態(tài)金屬離子源。 %5uuB4P&|$
此后,美國 Oregon grad的lwswansen、J0ha等人也紛紛投入液態(tài)金屬離子源的研究,并很快將液態(tài)全屬離子源應用于FB系統(tǒng)。經過30多年的發(fā)展,液態(tài)金屬離子源技術已經趨于成熟。 MenI>g d?
目前,種類繁多的單質源和合金源的制備工藝已經日趨成熟,也積累了相當豐富的有關液態(tài)全屬離子源特性的計算和實驗數(shù)據(jù)。Ga源、Au源等一部分離子源在商品生產的聚焦離子束加工系統(tǒng)和二次離子質譜儀分析系統(tǒng)中也已經獲得實際應用。但是,這種離子源的工作機理至今仍然不完全清楚,在一些基本問題上,如,離子潭在離子發(fā)射區(qū)域附近的形狀和大小、離子形成的機理、影響高源工作特性的主要因素等,諸多研究者還存在著明顯的分歧。
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