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聚焦離子束FIB測(cè)試交流群
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探針臺(tái)
2019-09-26 11:49
聚焦離子束FIB測(cè)試交流群
uIO,9> ee
FIB
含義：
P (7el
聚焦離子束（
Focused Ion beam
簡(jiǎn)寫
FIB)
是將離子源
(
大多數(shù)
FIB
都用
Ga
，也有設(shè)備具有
He
和
Ne
離子源
)
產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速
,
聚焦后作用于樣品表面。作用：
X{V s
1.
產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像
.
此功能與
SEM
（掃描電子顯微鏡）相似