| 探針臺(tái) |
2019-12-27 08:32 |
半導(dǎo)體漏電定位技術(shù)emmi
EMMI（微光顯微鏡） s B
20/F
[attachment=97501] +dW|^I{H}
對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P， 而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 u\1>gDI
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