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微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用
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ka2012
2020-02-03 15:56
微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用
摘要:納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的核心。文章介紹了電子束光刻和電感耦合等離子體刻蝕為代表的微納加工技術(shù)在光電子學器件中的應(yīng)用,主要包括量子點激光器、 量子點THz探測器和光子晶體器件。
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