| 探針臺(tái) | 2020-02-06 12:21 |
微納加工FIB聚焦離子束介紹聚焦離子束顯微鏡FIB 聚焦離子束 FIB（聚焦離子束，ed Ion beam)是將液態(tài)金屬(大多數(shù)FIB都用Ga)離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像.此功能與SEM（掃描電子顯微鏡）相似,或用強(qiáng)電流離子束對(duì)表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng)，有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。 中文名 聚焦離子束 外文名 FIB、ed Ion Beam  應(yīng)用范圍： 1.IC芯片電路修改 2.Cross-Section 截面分析 3.Probing Pad 4.FIB透射電鏡樣品制備 5.材料鑒定 應(yīng)用 | |