| 探針臺(tái) |
2020-02-10 14:50 |
漏電檢測微光顯微鏡
對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P， 而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。
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偵測到亮點(diǎn)之情況 D3BT>zTGK
會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4閂鎖效應(yīng)； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測不到亮點(diǎn)之情況 不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障：1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面 反型層；5.硅導(dǎo)電通路等。 C_~hX G
點(diǎn)被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，這種情 況可采用Backside模式，但是只能探測近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及 拋光處理。 JL1z8Nu
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測試范圍： ]&mN~$+C
故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)
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測試內(nèi)容： /PuN +M
1.P-N接面漏電；P-N接面崩潰 s
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2.飽和區(qū)晶體管的熱電子 sKK*{+,kh;
3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā) eumpNF%$
4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題 {+V]saYP
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北京軟件產(chǎn)品質(zhì)量檢測檢驗(yàn)中心（簡稱：北軟檢測）成立于2002 年7月，是經(jīng)北京市編辦批準(zhǔn)，由北京市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)和北京市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局聯(lián)合成立的事業(yè)單位。2004年1月，國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局批準(zhǔn)在北軟檢測基礎(chǔ)上籌建國家應(yīng)用軟件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心（簡稱：國軟檢測），2004年10月國軟檢測通過驗(yàn)收并正式獲得授權(quán)，成為我國第一個(gè)國家級(jí)的軟件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)。 5!pof\/a
中心依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn) ISO/IEC 17025：2005《檢測和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力認(rèn)可準(zhǔn)則》和ISO 9001：2015《質(zhì)量管理體系要求》建立了嚴(yán)謹(jǐn)?shù)馁|(zhì)量體系，擁有一流的軟件測試平臺(tái)，2600平方米的測試場地，1000多臺(tái)套的測試設(shè)備和上百人的專業(yè)測試工程師隊(duì)伍。目前具有資質(zhì)認(rèn)定計(jì)量認(rèn)證（CMA）、資質(zhì)認(rèn)定授權(quán)證書（CAL）、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書（CNAS）、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)認(rèn)可證書（CNAS）、信息安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估服務(wù)資質(zhì)認(rèn)證證書（CCRC），信息安全等級(jí)保護(hù)測評(píng)機(jī)構(gòu)（DJCP）、ISO 9001：2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證、ISO/IEC 27001：2013信息安全管理體系認(rèn)證等各種資質(zhì)。
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