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探針臺

2020-02-19 14:35

掃描電鏡SEM發(fā)展史

掃描電鏡SEM發(fā)展史
1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。
1897 J.J. Thmson 發(fā)現(xiàn)電子
1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎得主）提出電子本身具有波動的物理特性，進(jìn)一步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。
1926 Busch 發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過玻璃透鏡偏折，一般由電磁場的改變而偏折。
1931 德國物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機。
1937 首部商業(yè)原型機制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。
1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。
1938～39 穿透式電子顯微鏡正式上市（西門子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。
1940～41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡（解像力50 nm）。
1941～63 解像力提升至2~3 Å （穿透式）及100Å （掃描式）