| 探針臺 |
2020-02-19 14:42 |
掃描電鏡SEM工作原理
掃描電鏡成象 |E|d"_Ma
次級電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次級電子。 $+-2/=> Xk
表面分析 hv8V=Z'Q
歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)生過程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān)，所以可以用于成分分析。但由于電子束只能穿透樣品表面很淺的一層（參見作用體積），所以只能用于表面分析。 bKiV<&Z5d
表面分析以特征X射線分析最常用，所用到的探測器有兩種：能譜分析儀與波譜分析儀。前者速度快但精度不高，后者非常精確，可以檢測到“痕跡元素”的存在但耗時太長。 bz,C% HFA
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