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探針臺(tái) 2020-02-19 14:44

掃描電鏡發(fā)展簡史

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掃描電鏡發(fā)展簡史 }w)wW1&  
1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 cn'r BY  
1897 J.J. Thmson 發(fā)現(xiàn)電子 >E>'9@Uh  
1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎(jiǎng)得主） 提出電子本身具有波動(dòng)的物理特性， 進(jìn)一步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 zZ8:>2Ps(  
1926 Busch 發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過玻璃透鏡偏折，一般由電磁場的改變而偏折。 T`Xz*\}Zb  
1931 德國物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。 a3:1`c/~\  
1937 首部商業(yè)原型機(jī)制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。 quFNPdP  
1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。 ''.\DC~K  
1938～39 穿透式電子顯微鏡正式上市（西門子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。 P> 7PO~E.  
1940～41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡（解像力50 nm）。 Ul|htB<1:  
1941～63 解像力提升至2~3 Å （穿透式） 及100Å （掃描式） EsLtC5]  
1960 Everhart and Thornley 發(fā)明二次電子偵測器。 ~vfPsaRh  
1965 第一部商用SEM出現(xiàn)（Cambridge) _,*QJ  
1966 JEOL 發(fā)表第一部商用SEM(JSM-1) Oq 95zo  
1958年 中國科學(xué)院組織研制 PxJvE*6^H  
1959年第一臺(tái)100KV電子顯微鏡 1975年第一臺(tái)掃描電子顯微鏡DX3 在中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠（現(xiàn)北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司）研發(fā)成功 @$?*UI6y  
1980年中科科儀引進(jìn)美國技術(shù)，開發(fā)KYKY1000掃描電鏡 Kq:vTz&<  
芯片失效分析實(shí)驗(yàn)室介紹，能夠依據(jù)國際、國內(nèi)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施檢測工作，開展從底層芯片到實(shí)際產(chǎn)品，從物理到邏輯全面的檢測工作，提供芯片預(yù)處理、側(cè)信道攻擊、光攻擊、侵入式攻擊、環(huán)境、電壓毛刺攻擊、電磁注入、放射線注入、物理安全、邏輯安全、功能、兼容性和多點(diǎn)激光注入等安全檢測服務(wù)，同時(shí)可開展模擬重現(xiàn)智能產(chǎn)品失效的現(xiàn)象，找出失效原因的失效分析檢測服務(wù)，主要包括點(diǎn)針工作站（Probe Station）、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）、微漏電偵測系統(tǒng)（EMMI）、X-Ray檢測，缺陷切割觀察系統(tǒng)（FIB系統(tǒng)）等檢測試驗(yàn)。實(shí)現(xiàn)對智能產(chǎn)品質(zhì)量的評估及分析，為智能裝備產(chǎn)品的芯片、嵌入式軟件以及應(yīng)用提供質(zhì)量保證。 H7Pw>Ta ;  
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國家應(yīng)用軟件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心 RNX>I,2sh  
北京軟件產(chǎn)品質(zhì)量檢測檢驗(yàn)中心 <@qJsRbhK  
智能產(chǎn)品檢測部 qnw8#!%I  
趙工 [Y6ZcO/-i  
座機(jī)010-82825511-728 p$6L_ *$  
手機(jī)13488683602 ^]$rh.7&  
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[email=郵箱zhaojh@kw.beijing.gov.cn]郵箱zhaojh@kw.beijing.gov.cn[/email]
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