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2020-03-17 17:03 |
上海光機所在數(shù)字化超精密子孔徑拋光中頻誤差創(chuàng)成機制研究中取得進展
近期,中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學制造與檢測中心研究團隊在光學元件表面中頻誤差創(chuàng)成機制的研究中取得新進展。提出了分段路徑卷積模型和光順理論,成功定量預測加工導致的中頻誤差幅值和形貌分布。相關成果于3月13日發(fā)表在[Optics Express, 28, 8959-8973 (2020)]。 t-e:f0iz ob-y
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