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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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alien21	2020-03-20 15:18
目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 LofpBO6^

alien21	2020-03-20 16:05
求教，有人嗎

ouyuu	2020-03-20 16:40
你要的精度指的是光學膜厚精度還是物理膜厚精度？ r!1f>F*dt 物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學膜厚精度由光控的精度決定。

morningtech	2020-03-20 19:47
晶控能應付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系，工藝好點， 2%~3%的也能應付。 (u^8=# 再提高，0.5%準確度比較難了。 JN:L%If 鍍膜更重要的是重復性。

alien21	2020-03-21 09:56
ouyuu:你要的精度指的是光學膜厚精度還是物理膜厚精度？ ZQym8iV/ 物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40) *Gv:N6 "9dZ z/{ 謝謝！物理膜厚精度，

alien21	2020-03-21 09:56
morningtech:晶控能應付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系，工藝好點， 2%~3%的也能應付。 ns~bz-n 再提高，0.5%準確度比較難了。 +~YoP> 鍍膜更重要的是重復性。 (2020-03-20 19:47) g18zo~LZ 4,W,E4 7 明白了，謝謝！

ouyuu

2020-03-25 14:47

alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56) %dr*dA'

物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。
水晶片的震蕩頻率會受溫度影響，鍍膜時候溫度上升會干擾到水晶的精度。
所以有些高精度的鍍膜機會用水冷來解決溫升的問題。
但是水晶片溫度低了和膜的結(jié)合力受影響，水晶片上沉積多了以后膜就會脫落。

目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？