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EMMI測試
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探針臺
2020-03-24 16:37
EMMI測試
EMMI（微光顯微鏡）
\U.js-
對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P， 而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。
7( C:ty9
偵測到亮點之情況
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