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探針臺	2020-03-25 16:40
漏電定位emmi檢測 s&~.";b 對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P，而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。