探針臺 |
2020-04-21 13:09 |
半導(dǎo)體元器件失效分析方法
一:X-RAY檢查 )6g&v'dq 1,X-RAY含義: YY\Rua/nG X-RAY射線又稱倫琴射線,一種波長很短的電磁輻射,由德國物理學(xué)家倫琴在1895年發(fā)現(xiàn)。一般指電子能量發(fā)生很大變化時放出的短波輻射,能透過許多普通光不能透過的固態(tài)物質(zhì)。利用可靠性分析室里的X-RAY分析儀,可檢查產(chǎn)品的金絲情況和樹脂體內(nèi)氣孔情況,以及芯片下面導(dǎo)電膠內(nèi)的氣泡,導(dǎo)電膠的分布范圍情況。 RRNH0-D1l 2,X-RAY檢查原則 zaBG= 不良情況 原因或責(zé)任者 &jFKc0\i@ 球脫 組裝 E::<;9 點脫 如大量點脫是同一只腳,則為組裝不良。如點脫金絲形狀較規(guī)則,則為組裝或包封之前L/F變形,運轉(zhuǎn)過程中震動,上料框架牽拉過大,L/F打在予熱臺上動作大,兩道工序都要檢查。如點脫金絲弧度和旁邊的金絲弧度差不多,則為組裝造成。 HI z9s4Y_ 整體沖歪,亂,斷 為包封不良,原因為吹模不盡,料餅沾有生粉,予熱不當(dāng)或不均勻,工藝參數(shù)不當(dāng),洗模異常從而導(dǎo)致模塑料在型腔中流動異常。 69rwX"^ 個別金絲斷 組裝擦斷或產(chǎn)品使用時金絲熔斷。 ^h`!f vyH 只有局部沖歪 多數(shù)為包封定位時動作過大,牽拉上料框架時造成,也有部份為內(nèi)部氣泡造成。 T6;>O`B.r 金絲相碰 弧度正常,小于正常沖歪率時,為裝片或焊點位置欠妥 _En]@xK3& 內(nèi)焊腳偏移 多數(shù)為組裝碰到內(nèi)引腳。
+*<K"H|, 塌絲 多數(shù)為排片時碰到。 ?f9$OLEB 導(dǎo)電膠分布情況 應(yīng)比芯片面積稍大,且呈基本對稱情形。 o;%n,S8J|^ We|-5 [attachment=100023] FGDw;lEa9[ ')r
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