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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

gmss1111 2020-04-27 00:17

鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？

小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計算鍍膜材料的tooling，比如說校準(zhǔn)sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰，到底選哪個，怎么計算啊。 %$67*pY'JH  
morningtech 2020-04-27 08:53
為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， AYfL}X<Ig  
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 ^7YZ>^  
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計厚度了。 C]Q}HI#G  
Ey{p;;H  
定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% NKl`IiGv  
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確，樣品實(shí)測厚度與設(shè)計厚度有偏差，需要修正。 9(lcQuE9  
修正值  T2 = T1 * 樣品實(shí)測厚度/設(shè)計厚度 ZP ]Ok  
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先思考一下，把你問題中的參數(shù)看怎么對應(yīng)到上面式子里。
雨天帶著傘 2020-04-27 10:11
+1------
17873333033 2020-04-27 10:21
2樓講解的很詳細(xì)，謝謝大師，我這里有高純度SIO2便宜處理，由于今年訂單減少，大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請給實(shí)體行業(yè)一點(diǎn)支撐。17873333033
ouyuu 2020-04-30 10:29
自己用TFC擬合吧，先把sio2膜厚設(shè)定到350nm，然后慢慢減少，到和你實(shí)際的圖像重合。 o $'K}U  
如果一個峰重合一個峰不重合，那就一點(diǎn)點(diǎn)的修折射率，（sio2折射率很穩(wěn)定，一般不用修）